Форвакуумная часть должна обеспечивать повторяемый цикл и быть совместима с продуктами процесса PVD или CVD.
Что проверяет инженер
Диапазон давления, состав и расход газа, пиковые нагрузки, цикл, допустимое загрязнение, доступное охлаждение и требования автоматизации.
Состав системы
Насос, обвязка, защита от частиц и конденсата, измерение, управление и безопасные режимы рассматриваются совместно.
Результат подбора
Выбор технологии, рабочей точки, конфигурации защиты и перечня данных, которые необходимо подтвердить до заказа.
Нужен инженерный подбор?
Передайте исходные данные процесса — ответ будет подготовлен после технической проверки.