Выбор технологии начинается с рабочей среды и диапазона процесса. Таблица показывает инженерные различия семи классов без переноса параметров между моделями.
| Тип | Рабочая камера | Роль в системе | Подходящие задачи | Что проверить |
|---|---|---|---|---|
| Сухой винтовой | Без масла в рабочей камере | Самостоятельная форвакуумная ступень или основа агрегата | Сушка, химические и фармацевтические процессы, покрытия | Конденсация, пыль, коррозионность, продувка, температура и охлаждение |
| Сухой для полупроводников | Безмасляная рабочая камера; конфигурация зависит от процесса | Специализированная форвакуумная ступень технологической установки | ETCH, CVD, PVD, DIFF, фотовольтаика | Реакционные газы, частицы, азот, покрытие, вода и интерфейсы управления |
| Фотовольтаический агрегат | Безмасляная связка Рутс + сухая ступень | Комплектная насосная система в корпусном исполнении | Монокристаллический кремний и смежные процессы после проверки нагрузки | Состав ступеней, частицы, вода, алгоритм ПЧ, выпуск и межблокировки |
| Золотниковый | Маслозаполненная | Самостоятельный насос или форвакуум составной системы | Печи, пропитка, сушка, промышленный форвакуум | Совместимость масла, пары, охлаждение, выпуск и обслуживание |
| Рутса | Бесконтактные синхронные роторы; отдельная форвакуумная ступень обязательна | Бустер для увеличения быстроты в рабочем диапазоне | Вакуумные станции, металлургия, термообработка, сушка | Допустимый перепад давления, форвакуум, байпас, нагрев и алгоритм пуска |
| Жидкостно-кольцевой | Рабочее жидкостное кольцо | Основной насос для влажных потоков при совместимой рабочей жидкости | Выпарка, дистилляция, влажные химические и пищевые процессы | Температура жидкости, насыщенные пары, материалы, рециркуляция и стоки |
| Пластинчато-роторный | Маслозаполненная | Компактный форвакуум или самостоятельная ступень | Лабораторные установки, течеискание и общепромышленные задачи | Паровая нагрузка, масло, газобалласт, фильтрация выпуска и регламент |
Следующий шаг — сравнение моделей
После выбора технологии сопоставьте до четырёх карточек по подтверждённым значениям.