Форвакуумная система подготавливает камеру и поддерживает высоковакуумную ступень.
Инженерный смысл
Критичны чистота, скорость цикла, газовая нагрузка и защита от осаждаемого материала. Конфигурация зависит от технологии покрытия.
Что зафиксировать в исходных данных
- рабочий диапазон давления и длительность цикла;
- состав, температура и поток газа;
- пары, конденсат, пыль и коррозионные компоненты;
- геометрия магистрали, охлаждение и управление.
Практический вывод
Паспортный параметр относится к определенным условиям. Перед заказом рабочая точка и конфигурация должны быть проверены по актуальной документации конкретной модели.