PVD сочетает базовую откачку с контролируемой подачей технологического газа.
Инженерный смысл
Насосная система должна обеспечивать повторяемое базовое давление, допустимый фон и совместимость с материалом мишени и продуктами процесса.
Что зафиксировать в исходных данных
- рабочий диапазон давления и длительность цикла;
- состав, температура и поток газа;
- пары, конденсат, пыль и коррозионные компоненты;
- геометрия магистрали, охлаждение и управление.
Практический вывод
Паспортный параметр относится к определенным условиям. Перед заказом рабочая точка и конфигурация должны быть проверены по актуальной документации конкретной модели.