Для ETCH, PVD, CVD и DIFF согласуются продувка азотом, покрытие, температура и интеграция управления.
Процессная нагрузка
ETCH, CVD, PVD, DIFF и фотовольтаика различаются реакционными газами, частицами, температурой и допустимым фоном. Конфигурация не переносится между процессами только по быстроте откачки.
Форвакуум и бустер
Сухая винтовая ступень, насос Рутса, продувка и выпуск рассчитываются совместно по рабочему диапазону и составу побочных продуктов.
Высоковакуумная ступень
Молекулярный насос требует проверки газа, степени сжатия, форвакуумного давления, охлаждения, контроллера, фланца и внешнего магнитного поля.
Интеграция и защита
Карта сигналов, удаленный запуск, аварийный останов, продувка, водяное охлаждение и межблокировки фиксируются до поставки.
Передайте исходные данные процесса — ответ будет подготовлен после технической проверки.
Связанные технологические направления
Перейдите к проверенным матрицам высоковакуумных и фотовольтаических систем.