Агрегаты объединяют насос Рутса как основную ступень и сухой винтовой насос как форвакуумную. В документе для серии указаны корпусное исполнение, интеллектуальное частотное управление и водоохлаждаемые двигатели; конкретная комплектация подтверждается отдельно.
Проверенная модельная матрица
| Модель агрегата | Основной / форвакуумный насос | Быстрота, л/с | Давление, Па | Вход / выход, мм | Вода, л/мин | Масса, кг | Мощность ступеней, кВт |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| JZJLGB1200-8T | ZJ1200S / LGB110 | 1200 | 0,2 | 250 / 40 | 9 | 1250 | 11 + 7,5 |
| JZJLG150-2R | R500 / LG70 | 150 | 0,5 | 100 / 40 | 4 | 600 | 3 + 7,5 |
| JZJLG150-3T | ZJ150G / LG50G | 150 | 0,1 | 100 / 40 | 4 | 600 | 3 + 4,5 |
| JZJLG300-5T | ZJ400G / LG50G | 400 | 0,1 | 145 / 40 | 6 | 650 | 4,5 + 4,5 |
| 800-6T | — | — | — | — | — | — | — |
Позиция 800-6T: исходная таблица содержит только обозначение. Числовые значения не восстановлены по индексу или соседним моделям.
Что подтверждает предоставленный материал
Рутс работает с сухой винтовой форвакуумной ступенью.
Для четырёх заполненных строк опубликован расход воды 4–9 л/мин.
В описании серии указана интеллектуальная система частотного управления.
Корпусное исполнение и водоохлаждаемые двигатели описаны как особенности серии.
Границы переноса на реальный процесс
Материал связывает серию с производством монокристаллического кремния и указывает устойчивость к небольшому количеству пыли. Для проекта всё равно нужны состав и концентрация частиц, газовая нагрузка, температурный профиль, интервалы очистки и безопасные сценарии отказа охлаждения.
Проверка данных: изображения и таблицы сверены с документами архива Product images and specifications.zip 28.08.2026. Отсутствующие значения не рассчитывались.