Безмасляный вакуумный агрегат Рутс + сухой насос LeakLab JZJLG150-2R рассматривается как часть технологической системы, а не изолированный агрегат.
Принцип и назначение
Насос Рутса работает как основная ступень, сухой винтовой насос обеспечивает форвакуум. Производительность и допустимый перепад ступеней должны проверяться совместно для фактического процесса.
Области применения
производство монокристаллического кремния, фотовольтаические процессы, отдельные процессы литиевых батарей и полупроводников после проверки газовой нагрузки. Окончательное решение принимается после проверки состава газа, рабочего давления, времени откачки и режима эксплуатации.
Конструктивные особенности
безмасляная насосная схема; корпусное исполнение; частотное управление; водоохлаждаемые двигатели по данным предоставленного материала.
Семейство и исполнение
Комплектный агрегат Рутс + сухая форвакуумная ступень.
Корпусное безмасляное исполнение с частотным управлением; фактические алгоритмы, интерфейсы и допустимая пылевая нагрузка подтверждаются для комплектации.
Что требуется для подбора
- объем камеры и требуемое время откачки;
- начальное и конечное давление;
- состав газа, пары, пыль и коррозионность;
- режим работы, питание и доступное охлаждение.
Передать исходные данные инженеру
Статус технических данных
Проверено по предоставленному техническому документу. Значения, отсутствующие в источнике, не рассчитываются по соседним моделям.
