Фотовольтаические вакуумные агрегаты
Комплектные агрегаты для технологических процессов производства монокристаллического кремния и смежных задач. В предоставленных материалах описаны корпусное исполнение, частотное управление и водоохлаждаемые двигатели.
Роль технологии
Насос Рутса работает как основная ступень, сухой винтовой насос обеспечивает форвакуум. Производительность и допустимый перепад ступеней должны проверяться совместно для фактического процесса.
- Моделей
- 5
- Сверено
- 5
- S + Pпред
- 5
- Диапазон S
- 540–4 320 м³/ч
Инженерный контур проверки
Каталожное значение — отправная точка. Рабочую конфигурацию определяют процесс, обвязка и режим.
производство монокристаллического кремния, фотовольтаические процессы, отдельные процессы литиевых батарей и полупроводников после проверки газовой нагрузки.
безмасляная насосная схема; корпусное исполнение; частотное управление; водоохлаждаемые двигатели по данным предоставленного материала.
Задайте диапазон быстроты в удобной единице и требуемое предельное давление.
Открыть фильтр →Модели и технические паспорта
Печатный PDF доступен в каждой карточке. Сначала показаны модели с наиболее полным набором подтверждённых данных.
LeakLab 800-6T
Комплектный фотовольтаический вакуумный агрегат
LeakLab JZJLG150-2R
Комплектный агрегат Рутс + сухая форвакуумная ступень
LeakLab JZJLG150-3T
Комплектный агрегат Рутс + сухая форвакуумная ступень
LeakLab JZJLG300-5T
Комплектный агрегат Рутс + сухая форвакуумная ступень
LeakLab JZJLGB1200-8T
Комплектный агрегат Рутс + сухая форвакуумная ступень
Связанные технологии и компоненты
Комплектный агрегат связывает бустерную и сухую форвакуумную ступени, поэтому рядом показаны исходные данные процесса, сухие насосы и комплект обслуживания.
Сухие винтовые насосы
Почему связано: Сухая ступень определяет форвакуум, тепловой режим и обращение с процессным газом; её нельзя выбирать отдельно от насоса Рутса.
↗02 · ПроцессПолупроводниковые процессы
Почему связано: Фотовольтаические и полупроводниковые процессы требуют проверки газовой нагрузки, частиц, охлаждения, продувки и межблокировок.
↗03 · ЗИП и ремкомплектЗапасные части для конкретного исполнения
Почему связано: Состав комплекта определяется по полному индексу, серийной табличке и фотографии узла; наличие и совместимость подтверждаются отдельно.
↗04 · Комплектная системаКИП, охлаждение и технологическая обвязка
Почему связано: Связка Рутс и сухой ступени требует общей логики ПЧ, межблокировок, контроля воды, давления, температуры и выпуска.
↗Передайте диапазон давления, состав газа, цикл, температуру и доступные инженерные среды. Неизвестные параметры можно уточнить совместно.
Передать исходные данные