Материалы
Что такое быстрота откачки
Быстрота откачки показывает объемный поток газа через сечение при заданном давлении.
Вакуумные насосы для вакуумных печей
Печной цикл меняет газовую нагрузку по мере нагрева деталей, оснастки и теплоизоляции.
Что означает предельное остаточное давление
Предельное давление — нижняя граница, достигнутая насосом в оговоренных условиях испытания.
Вакуумные насосы для напыления
Форвакуумная система подготавливает камеру и поддерживает высоковакуумную ступень.
Сухой винтовой или пластинчато-роторный насос
Главное различие — наличие масла в рабочей камере и поведение при процессной нагрузке.
Вакуумные насосы для PVD
PVD сочетает базовую откачку с контролируемой подачей технологического газа.
Сухой винтовой или жидкостно-кольцевой насос
Для влажной среды сравнивают не только давление, но и обращение с паром и рабочей жидкостью.
Вакуумные насосы для CVD
В CVD насос работает с реакционными газами и побочными продуктами, способными конденсироваться или образовывать частицы.
Как работает сухой винтовой насос
Синхронные винты захватывают газ у входа и переносят его к выпуску без контакта в рабочей камере.
Вакуумные насосы для ETCH
ETCH формирует химически активную газовую нагрузку, часто с твердыми побочными продуктами.