Сухой вакуумный насос для полупроводниковых процессов LeakLab WR602 рассматривается как часть технологической системы, а не изолированный агрегат.
Принцип и назначение
Серия WR предназначена для технологических установок с управляемой продувкой и интеграцией в систему автоматизации. Исполнение покрытия и расход азота согласуются по конкретному процессу.
Области применения
ETCH, PVD, CVD, DIFF, фотовольтаика, производство панелей и исследовательские установки. Окончательное решение принимается после проверки состава газа, рабочего давления, времени откачки и режима эксплуатации.
Конструктивные особенности
водоохлаждаемый двигатель; частотное управление; I/O и RS485 Modbus; автоматическая продувка.
Что требуется для подбора
- объем камеры и требуемое время откачки;
- начальное и конечное давление;
- состав газа, пары, пыль и коррозионность;
- режим работы, питание и доступное охлаждение.
Передать исходные данные инженеру
Статус технических данных
Проверено по текущей официальной веб-странице производителя. Значения, отсутствующие в источнике, не рассчитываются по соседним моделям.